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分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3

国产进口 : 进口
产地品牌 : 日本/大塚
型 号 : 
总访问 : 2577
产品类别 : 共聚焦显微镜
最后更新 : 2026-01-13 15:02:28
产品介绍
公司简介
●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专利)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)
 
规格式样
                      SF-3
膜厚测量范围                     0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度                     ±0.1% 以下
重复精度                     0.001% 以下
测量时间                     10msec 以下
测量光源                     半导体光源
测量口径                     Φ27μm※2
WD                     3 mm ~ 200 mm
测量时间                     10msec 以下

※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 最小Φ6μm

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